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友達光電用氧化物TFT開發出37英寸全高清液晶面板
[投影之窗消息]
根臺灣友達光電用基于透明非晶氧化物半導體（TAOS）的TFT（TAOS-TFT）試制出了全高清37英寸液晶面板。TAOS-TFT液晶面板開發此前最大尺寸止步于20英寸以下，此次一舉實現了大尺寸化。樣品面板使用的TAOS-TFT，是將源電極和漏電極設在溝道側面的同一平面型，溝道材料為非晶IGZO。AUO在演講中出示的TAOS-TFT試制結果顯示，以柵極寬度和長度分別為22μm和5μm的元件，實現了載流子遷移率10～13cm2/Vs，開/關比108以上的良好特性。即便是經常碰到的TAOS-TFT元件特性不穩定問題，也通過在IGZO成膜后實施N2O等離子處理以及改善鈍化方法等使其得到了控制
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