[投影之窗消息] 日前，JSR開始研究D-MEC三維光成型機的分辨率到數(shù)百nm級，其于2004年開始銷售具有μm級分辨率的光成型機，以開拓新應用領域中的材料市場。盡管該裝置的原理與使用紫外線硬化樹脂的三維成型機相同，但由于加工分辨率為μm級，因此可加工MEMS元件及微小裝置。
為了提高分辨率，JSR考慮改變光學系統(tǒng)。微型成型機需要涂布紫外線硬化樹脂，使其變成數(shù)μm厚的薄層，以1.7μm的平面方向分辨率對該層進行紫外光照射，便可形成任何形狀。反復操作該工序并重疊薄層，便能形成立體形狀。這時，該公司的裝置可使用DMD（數(shù)字微鏡器件）芯片進行紫外光照射。DMD芯片有1024×768個13.7μm見方的微鏡，可利用透鏡聚集其反射光。1.7μm的水平方向分解能取決于該透鏡的縮小率。用透鏡聚光時，可相應地提高分辨率。
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